特許

J-GLOBAL ID：200903017835884967

静電吸着装置

発明者： 菅野 誠一郎 ,  臼井 建人 ,  吉岡 健 ,  金井 三郎 ,  伊藤 陽一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160882
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008291
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】複数個の電極を有する静電吸着装置において、電極間に流れるリーク電流を抑え、電極と被吸着物間に電圧を効率よく印加可能とし、十分な吸着力を発揮させる。【解決手段】複数個の電極を有する静電吸着装置において、電極間の電気抵抗値を、電極と被吸着物間の電気抵抗値よりも大きくし、電極間に流れるリーク電流を抑える。

請求項（抜粋）：

被吸着物を静電気的に吸着保持する静電吸着装置において、前記被吸着物と誘電体膜間に電位差を与えるための電極を少なくとも複数個備え、該複数個の電極間の電気抵抗値を、前記被吸着物と前記電極間の誘電体膜の電気抵抗値よりも大ききしたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電吸着電極およびその製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-247537   出願人：株式会社日立製作所
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-070162   出願人：信越化学工業株式会社