特許

J-GLOBAL ID：200903017889251463

欠陥分類装置及び欠陥分類方法

発明者： 神田 大和
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-107209
公開番号（公開出願番号）：特開2005-294521
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】欠陥抽出時の閾値が不要な、または閾値に対してロバスト性の高い分類を行うことが可能な欠陥分類装置を提供する。【解決手段】波長を制限した照明光により光透過性のあるコーティング表面を照明する照明器101と、レンズ103を通してコーティング表面の干渉像を撮像するCCDカメラ104と、撮像した画像内の各画素に対する周囲の輝度勾配の放射方向成分量を算出し、この放射方向成分量を基に欠陥を分類するPC110とを具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検体に形成されたコーティングの表面を照明する照明手段と、 結像光学系を通して前記コーティング表面の画像を撮像する撮像手段と、 撮像した画像内の各画素に対する周囲の輝度勾配の放射方向成分量を算出する放射方向成分算出手段と、 算出した放射方向成分量を基に欠陥を分類する分類手段と、 を具備することを特徴とする欠陥分類装置。

IPC (3件)：

H01L21/66 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00

FI (3件)：

H01L21/66 J ,  G01N21/956 A ,  G06T1/00 305A

Fターム (31件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051ED07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA41 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 欠陥分類装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-370218   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-230544
  
• 表面検査装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-068593   出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社