特許

J-GLOBAL ID：200903017954677856

ウエット処理用ノズルおよびウエット処理装置

発明者： 三森 健一 ,  芳賀 宣明 ,  小野 昭一
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079775
公開番号（公開出願番号）：特開2003-158110
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 ウエット処理動作中に処理領域において処理液の存在しない領域が生じた場合でも、超音波振動子の破損防止を図る。【解決手段】 被処理物Wのウエット処理のための処理液2を被処理物Wの被処理面W1に向けて供給する導入開口部21bと、ウエット処理後の排出液2を被処理面W1から排出する排出開口部22bとを具備するウエット処理用ノズル1であって、被処理面W1上の処理液2に対して超音波振動を付与するための超音波振動子48と、該超音波振動子48に接する振動部46とを備え、振動部46は、超音波振動子48の少なくとも被処理物W側に設けられ、被処理物W側の振動部46の厚み寸法Tと、振動部46における超音波振動の波長λとの関係が、T=(n±0.1)・λ/2 (但し、nは2以上の整数)に設定されてなる。

請求項（抜粋）：

被処理物のウエット処理のための処理液を前記被処理物の被処理面に向けて供給する導入開口部と、前記ウエット処理後の前記処理液の排出液を前記被処理面から排出する排出開口部とを具備するウエット処理用ノズルであって、前記被処理面上の前記処理液に対して超音波振動を付与するための超音波振動子と、該超音波振動子に接する振動部とを備え、前記振動部は、前記超音波振動子の少なくとも前記被処理物側に設けられ、該被処理物側の前記振動部の厚み寸法Tと、該振動部における前記超音波振動の波長λとの関係が、T=(n±0.1)・λ/2 (但し、nは2以上の整数)に設定されてなることを特徴とするウエット処理用ノズル。

IPC (3件)：

H01L 21/304 643 ,  B06B 1/06 ,  B08B 3/12

FI (3件)：

H01L 21/304 643 D ,  B06B 1/06 Z ,  B08B 3/12 B

Fターム (12件)：

3B201AA01 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201BC01 ,  3B201CD43 ,  5D107AA03 ,  5D107AA09 ,  5D107BB11 ,  5D107CC02 ,  5D107FF08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-304089
  
• 超音波振動板及びその製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-354015   出願人：島田理化工業株式会社
• ウエット処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148161   出願人：大見忠弘, 株式会社フロンテック
• ウェット処理用ノズル及びノズル装置並びにウェット処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-229497   出願人：株式会社フロンテック, 株式会社カイジョー