特許

J-GLOBAL ID：200903017980556846

往復動機構を備えた真空装置

発明者： 大橋 裕次郎 ,  佐川 準基 ,  牧村 俊助 ,  金子 元貞 ,  中村 哲朗
出願人/特許権者： 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス ,  大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 ,  株式会社ミラプロ
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-074442
公開番号（公開出願番号）：特開2007-245313
出願日： 2006年03月17日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】簡単な構成で、真空容器内の対象物を保持する駆動軸の熱伸びの影響を低減して真空容器内の対象物を高精度で位置決めすることのできる往復動機構を備えた真空装置を提供すること。【解決手段】遮へい体3の内部に、駆動軸6に面して空間部が形成され、該空間部に駆動軸の移動を案内する案内装置7が配設され、該案内装置に駆動軸の移動を停止させる機械的なストッパー69を設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対象物を内部に配設する真空容器と、該真空容器内に配設した遮へい体と、該遮へい体を貫通し、一方端が前記対象物に連結された駆動軸と、該駆動軸の他方端が連結され、前記真空容器の外部に配置され、前記駆動軸を往復動駆動する駆動装置と、を備えた真空装置において、 前記遮へい体の内部に、前記駆動軸に面して空間部が形成され、該空間部に前記駆動軸の移動を案内する案内装置が配設され、該案内装置に前記駆動軸の移動を停止させる機械的なストッパーを設けたこと を特徴とする真空装置。

IPC (5件)：

B25J 19/00 ,  G21B 1/11 ,  G21B 1/17 ,  H05H 6/00 ,  G21B 1/03

FI (4件)：

B25J19/00 C ,  G21B1/00 B ,  H05H6/00 ,  G21B1/00 V

Fターム (15件)：

2G085BA17 ,  2G085BD01 ,  2G085BE03 ,  2G085BE04 ,  2G085BE07 ,  3C007AS27 ,  3C007AS31 ,  3C007BS01 ,  3C007CY12 ,  3C007CY13 ,  3C007CY15 ,  3C007HS27 ,  3C007HT40 ,  3C007KS19 ,  3C007KV05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 往復動機構を備えた真空装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-104062   出願人：日立エンジニアリング株式会社, 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構