往復動機構を備えた真空装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-104062
公開番号（公開出願番号）：特開2006-281085
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】簡単な構成で、真空容器外部に固定されている往復動の駆動装置の軸心と真空容器に収納された遮へい体に取り付けられた対象物を駆動する駆動軸との軸心を一致させることができ、信頼性の高い往復動機構を備えた真空装置を提供する。【解決手段】真空装置は、真空容器の外部で、駆動装置の軸心と駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、かつ気密に取り付けた第1の真空フランジと、該真空フランジ上方にあって駆動軸が固定される2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとの間に設けられて駆動軸の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、真空容器と第1の真空フランジの間に軸心合せに伴なって生じる軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有して構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対象物を内部に配設する真空容器と、該真空容器内に配設した遮へい体と、該遮へい体を貫通し、一方端が前記対象物に連結された駆動軸と、該駆動軸の他方端が連結され、前記真空容器の外部に配置され、前記駆動軸を往復動駆動する駆動装置と、を備えた真空装置において、前記真空容器の外部で、前記駆動装置の軸心と前記駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、かつ気密に前記遮へい体に取り付けた第1の真空フランジと、該真空フランジ上方にあって前記駆動軸が固定され、かつ前記駆動装置によって往復動方向に駆動される2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとの間に設けられて前記駆動軸の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、前記真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、前記真空容器と第1の真空フランジの間に設けられて前記軸心合せによって生じた軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有して構成することを特徴とする往復動機構を備えた真空装置。

IPC (3件)：

B01J 3/00 , C23C 14/50 , F04B 37/16

FI (3件)：

B01J3/00 L , C23C14/50 K , F04B37/16 F

Fターム (11件)：

3H076AA02 , 3H076AA14 , 3H076AA21 , 3H076BB10 , 3H076CC30 , 3H076CC31 , 3H076CC46 , 3H076CC51 , 3H076CC99 , 4K029DC44 , 4K029KA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

真空用送り装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-272421 出願人：光洋精工株式会社, 光洋機械工業株式会社

審査官引用 (7件)

直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-107472 出願人：住友重機械工業株式会社
圧力空間仕切り構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-095742 出願人：富士通株式会社
成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-019270 出願人：株式会社村田製作所

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