特許

J-GLOBAL ID：200903018050590153

電気的制御系と空気圧制御系とを有する振動分離システムを動作させる方法及び装置

発明者： トシオ ウエタ ,  マイケル ビナ-ド
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-276452
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175122
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高周波応答を実現し、発熱を少なくできる能動的振動分離システムの動作方法および装置を提供する。【解決手段】 本能動的振動分離システム200は空気圧制御系と電気的制御系とを含む。上記空気圧制御系は、振動に敏感な質量体を支持するために流体が充填された空圧追従装置210、上記空圧追従装置内の圧力レベルを測定する圧力センサー、及び上記圧力レベルを制御して空圧追従装置内の圧力変動の影響を最小化するための空気圧アクチュエータ350を有する。電気的制御系は、質量体の実位置を測定するための少なくとも一つの運動センサー、これに対応する信号を発生するための少なくとも一つのフィードバック系、振動を補償するために必要な計算された電気的力を表す信号を発生するための電気的制御器、及び擾乱から上記質量を分離するための電気的力を発生するための電気的アクチュエータ350を有する。

請求項（抜粋）：

空気圧制御系と電気的制御系とを有する振動分離システムを動作させる方法において、質量体を支持するための空圧力を前記空気圧制御系中に発生させ、前記空圧力は空圧追従装置内の圧力レベルに依って発生させられており、前記圧力レベルは圧力誤差信号に応じて制御されているステップと、前記圧力誤差信号を前記電気的制御系に伝達するステップと、前記電気的制御系中で前記質量体の運動誤差信号をモニターし、前記運動誤差信号は前記質量体を振動から分離するための電気的力を発生するために使用されており、前記電気的力は前記圧力誤差信号と前記運動誤差信号との結合に基づいて決定されているステップとを含む方法。

IPC (3件)：

G05D 19/02 ,  F16F 15/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G05D 19/02 D ,  F16F 15/02 A ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (12件)：

3J048AA06 ,  3J048AB12 ,  3J048AD02 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046CC03 ,  5F046DA06 ,  5F046DB04 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 除振装置および露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-175882   出願人：株式会社ニコン
• 能動的除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-041424   出願人：キヤノン株式会社
• ステージ装置および露光装置ならびに回路デバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-305632   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-015328