特許
J-GLOBAL ID：200903018085085460
プロセスモデルのパラメータ調整装置、調整支援装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉武 賢次 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-132998
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328702
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】プロセスの内部構造を熟知していないプロセス技術者がパラメータ調整を簡単に行えるようにする。【解決手段】プロセスモデルのパラメータ調整装置は、プロセス外部入力収集手段とプロセス出力収集手段とから構成されるプロセスデータ収集手段と、複数のパラメータからなるパラメータセットを持つプロセスモデルに対して、プロセスデータ外部入力収集手段を通して供給されるデータを入力することによりシミュレーションを行う手段と、プロセスモデルが持つパラメータの初期値を設定する手段と、パラメータの感度の変化を解析する手段と、感度解析の結果に基づいて感度の高いパラメータセットを抽出する手段と、プロセス出力シミュレーション値とプロセス出力値との誤差を最小にするように、パラメータセットの各パラメータの値を同定する手段とを具える。
請求項（抜粋）：
外乱および操作量を含むプロセス外部入力と、プロセス状態量と、前記プロセス外部入力と前記プロセス状態量との関数であるプロセス観測出力と、前記プロセス外部入力を計測する外部入力センサーと、前記プロセス観測出力を計測するプロセス出力センサーと、を有する任意のプロセスにおいて、前記外部入力センサーの計測データを収集して所定の時間に亘ってデータを保持するプロセス外部入力収集手段と、前記プロセス出力センサーの計測データを収集して所定の期間に亘ってデータを保持するプロセス出力収集手段とから構成されるプロセスデータ収集手段と、複数のパラメータからなるパラメータセット(パラメータベクトル)θεRp(p:パラメータ数)を持つプロセスモデルに対して、前記プロセスデータ外部入力収集手段を通して供給されるプロセス外部入力データを入力することによりプロセスの時間的および空間的な挙動のシミュレーションを行うプロセスシミュレーション手段と、前記プロセスモデルが持つパラメータの初期値を設定するパラメータ初期値設定手段と、前記プロセスモデルから導出することのできるパラメータ感度関数モデルに、前記プロセス外部入力データ収集手段を通してプロセス外部入力データを供給してシミュレーションを行うことによってパラメータの感度の変化を解析するパラメータ感度解析手段と、前記パラメータ感度解析手段によって解析された感度解析の結果に基づいて感度の高いパラメータセットを抽出する高感度パラメータセット抽出手段と、前記プロセスモデルによって計算されるプロセス出力シミュレーション値と前記プロセス出力収集手段によって供給されるプロセス出力値との誤差を最小にするように、前記高感度パラメータセット抽出手段によって抽出されたパラメータセットの各パラメータの値を同定するパラメータ同定手段と、を具えたことを特徴とするプロセスモデルのパラメータ調整装置。
IPC (3件)：
G05B 13/04
, C02F 3/12 ZAB
, G05B 13/02
G05B 13/04
, C02F 3/12 ZAB P
, G05B 13/02 D
4D028CC02
, 4D028CC05
, 4D028CC06
, 4D028CC07
, 4D028CC09
, 4D028CC15
, 4D028CE02
, 4D028CE03
, 5H004GA30
, 5H004GB01
, 5H004HA02
, 5H004HB02
, 5H004KC28
, 5H004KC43
