PVDAl2O3被覆切削工具

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-519623
公開番号（公開出願番号）：特表2001-522725
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
要約：

【要約】本発明は、金属機械加工用の被覆切削工具に関する。被膜は、耐熱化合物の1又は複数の層を含み、その層の少なくとも1つは0.1 μm 未満の結晶粒サイズを有する微細結晶粒の結晶γ相アルミナ(Al2O3) からなる。Al2O3 層は、被覆される工具本体の特定の材料に依存して、450 〜700 °C、好ましくは550 〜650 °Cの基材温度において、バイポーラパルスDMS 法(二重マグネトロンスパッタリング)で形成される。アルミナ相は非常に強く(440) 方向に集合組織化している。Al2O3 層は実質的に割れ及びハロゲン不純物を含まず、Al2O3 層は工具の切れ刃に非常に円滑な表面の仕上がりをもたらし、そのことが機械加工される加工部材にも表面の仕上がりの改善をもたらす。被覆超硬合金切削工具が、鋼又は鋳鉄の機械加工に使用されるときに、従来技術と比較していくつかの重要な改良点が見られる。

請求項（抜粋）：

焼結した超硬合金若しくはサーメット、セラミックス、又は高速度鋼の基材の本体を備えた切削工具であって、前記基材上の少なくとも前記本体の表面の機能する部分に0.5 〜20μm 、好ましくは1〜15μm の厚みの付着性、硬質かつ耐摩耗性の被膜が施されている切削工具において、上記被膜が1又は複数の耐熱化合物層の組織を備え、そのうちの、0.5 〜15μm 、好ましくは1〜10μm の厚みを有する少なくとも1つの層が、時間平均で少なくとも10W/cm2 のマグネトロンターゲット電力密度で、被覆される前記工具本体の材料に依存して450 〜700 °C、好ましくは550 〜650 °Cの基材温度にて、反応性パルスマグネトロンスパッタリング法で形成され、上記被膜が本質的に0.1 μm 未満の結晶粒サイズを有する微細結晶粒の結晶質γ-Al2O3相からなり、上記微細結晶粒の結晶質γ-Al2O3の層が、(440) 及び(400) 結晶面の少なくとも1つから有意なX線回折反射を示し、少なくとも20 GPaの硬さ、少なくとも1GPa の圧縮応力を有し、ハロゲン不純物を含まないことを特徴とする切削工具。

IPC (7件)：

B23B 27/14 , B23B 51/00 , B23C 5/16 , B23P 15/28 , C23C 14/06 , C23C 14/08 , C23C 14/40

FI (7件)：

B23B 27/14 A , B23B 51/00 J , B23C 5/16 , B23P 15/28 Z , C23C 14/06 P , C23C 14/08 A , C23C 14/40

Fターム (27件)：

3C037CC02 , 3C037CC04 , 3C037CC08 , 3C037CC09 , 3C037CC10 , 3C037CC11 , 3C046FF02 , 3C046FF03 , 3C046FF04 , 3C046FF05 , 3C046FF16 , 3C046FF20 , 3C046FF25 , 3C046FF27 , 4K029AA04 , 4K029BA44 , 4K029BA55 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA05 , 4K029DC39 , 4K029EA01 , 4K029EA03 , 4K029EA08 , 4K029EA09

引用特許：

審査官引用 (5件)

切削工具用硬質被覆体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-292711 出願人：東芝タンガロイ株式会社
特開平3-150364
不活性元素含有被覆物体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-226399 出願人：東芝タンガロイ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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