放電プラズマ処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273037
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106531
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】処理の際のガス雰囲気を問わず、大気圧近傍の圧力下で均一な放電プラズマを長時間にわたって、しかも安定に発生させることができる電極を用いた放電プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】大気圧近傍の圧力下のガス雰囲気中で一対の電極を対向配置し、この一対の電極の少なくとも一方の電極対向面に固体誘電体を設置した状態でこの一対の電極間に電圧を印加することにより発生した放電プラズマを用いる放電プラズマ処理装置である。この一対を構成する電極1は、互いに平行な放電面1aを有しており、放電面1aの周縁1a1 から側面1cにかけて曲面となるように形成されている。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下のガス雰囲気中で一対の電極を対向配置し、この一対の電極の少なくとも一方の電極対向面に固体誘電体を設置した状態でこの一対の電極間に電圧を印加することにより発生した放電プラズマを用いる放電プラズマ処理装置において、上記一対を構成する電極は、互いに平行な放電面を有しており、放電面の周縁から側面にかけて曲面となるよう形成されていることを特徴とする放電プラズマ処理装置。

IPC (4件)：

C08J 7/00 306 , C23C 16/50 , H01L 21/205 , H05H 1/46

FI (4件)：

C08J 7/00 306 , C23C 16/50 , H01L 21/205 , H05H 1/46 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-241739
特開昭57-020488
ガスレーザ装置用放電電極構体
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-265268 出願人：日新電機株式会社

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