特許
J-GLOBAL ID：200903018177854087

ドライフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルム

発明者：
高橋 弘造

高橋 弘造 について

, 
合田 亘

合田 亘 について

, 
鈴木 基之

鈴木 基之 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-163035
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012610
出願日： 2002年06月04日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】透明性と滑り性に優れたドライフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルムを得る。【解決手段】エチレンテレフタレート単位および/またはエチレンナフタレート単位を主たる構成成分とするポリエステルからなるフィルムであって、少なくとも片面の最外層に脂肪酸エステル化合物を0.03〜1重量%含有してなるポリエステル層が設けられており、フィルムの融点が230〜270°C、フィルムヘイズが3%以下であることを特徴とするドライフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルム。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
エチレンテレフタレート単位および/またはエチレンナフタレート単位を主たる構成成分とするポリエステルからなるフィルムであって、少なくとも片面の最外層に脂肪酸エステル化合物を0.03〜1重量%含有してなるポリエステル層が設けられており、フィルムの融点が230〜270°C、フィルムヘイズが3%以下であることを特徴とするドライフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルム。
IPC (5件)：
G03F7/004 ,  B32B27/36 ,  C08K5/10 ,  C08L67/02 ,  G03F7/09
FI (5件)：
G03F7/004 512 ,  B32B27/36 ,  C08K5/10 ,  C08L67/02 ,  G03F7/09 501
Fターム (27件)：
2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025DA18 ,  2H025DA20 ,  2H025DA35 ,  4F100AK41A ,  4F100AK41B ,  4F100BA02 ,  4F100BA07 ,  4F100BA16 ,  4F100EJ383 ,  4F100JK15 ,  4F100JN01 ,  4F100YY00A ,  4J002CF031 ,  4J002CF041 ,  4J002CF061 ,  4J002CF081 ,  4J002CF101 ,  4J002CF141 ,  4J002EH036 ,  4J002EH046 ,  4J002FD010 ,  4J002FD176 ,  4J002GF00 ,  4J002GP03
引用特許：
審査官引用 (9件)
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