ドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-248503
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062661
出願日： 2000年08月18日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】透明性特に波長365nm近辺の光線透過率、滑り性、巻取り性、および解像度を同時に満足するドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】厚みが12μm以上25μm以下の二軸配向ポリエステルフィルムの片面または両面に易滑層を設けた積層フィルムであって、該積層フィルムのヘーズ値が1%以下、かつ波長365nmの光線透過率が86%以上であることを特徴とするドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム。

請求項（抜粋）：

厚みが12μm以上25μm以下の二軸配向ポリエステルフィルムの片面または両面に易滑層を設けた積層フィルムであって、該積層フィルムのヘーズ値が1%以下、かつ波長365nmの光線透過率が86%以上であることを特徴とするドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム。

IPC (9件)：

G03F 7/09 501 , B32B 27/36 , C08G 63/688 , C08K 3/00 , C08L 33/04 , C08L 67/02 , G03F 7/004 512 , H05K 3/00 , B05D 7/04

FI (9件)：

G03F 7/09 501 , B32B 27/36 , C08G 63/688 , C08K 3/00 , C08L 33/04 , C08L 67/02 , G03F 7/004 512 , H05K 3/00 F , B05D 7/04

Fターム (81件)：

2H025AA02 , 2H025AA16 , 2H025AA18 , 2H025AB11 , 2H025DA19 , 2H025DA21 , 4D075BB92Z , 4D075CA09 , 4D075CB02 , 4D075CB06 , 4D075DA04 , 4D075DB48 , 4D075DC19 , 4D075EB22 , 4D075EB35 , 4D075EB53 , 4D075EC01 , 4D075EC07 , 4D075EC60 , 4F100AA20 , 4F100AB22 , 4F100AK25B , 4F100AK26 , 4F100AK41B , 4F100AK42A , 4F100AL01B , 4F100BA02 , 4F100BA16 , 4F100CA19B , 4F100CC00 , 4F100DE01B , 4F100DE04 , 4F100EH46 , 4F100EJ38A , 4F100GB43 , 4F100JA03 , 4F100JA05B , 4F100JD09 , 4F100JK15B , 4F100JL05 , 4F100JL14 , 4F100JN01 , 4F100YY00 , 4F100YY00A , 4F100YY00B , 4J002BC032 , 4J002CF061 , 4J002CP032 , 4J002DE136 , 4J002DE146 , 4J002DE236 , 4J002DG046 , 4J002DJ016 , 4J002FD172 , 4J002FD176 , 4J002GF00 , 4J002GP03 , 4J002GQ00 , 4J029AA03 , 4J029AB07 , 4J029AC01 , 4J029AC02 , 4J029AD07 , 4J029AE03 , 4J029BA02 , 4J029BA03 , 4J029BA05 , 4J029BF09 , 4J029CA02 , 4J029CA06 , 4J029CB05A , 4J029CB06A , 4J029CD03 , 4J029DB01 , 4J029HA01 , 4J029HB01 , 4J029JF321 , 4J029JF471 , 4J029KB02 , 4J029KB05 , 4J029KE03

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-206462
架橋硬化性樹脂組成物積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-020400 出願人：三菱レイヨン株式会社
極細線用フォトレジスト用ポリエステルフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-024197 出願人：東洋紡績株式会社

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