特許
J-GLOBAL ID：200903060459436420
フォトレジストフィルム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-338100
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160881
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像性、細線密着性、レジストパターンの形成性に非常に優れたフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 支持体フィルム(I)/感光性樹脂組成物層(II)/保護フィルム(III)からなるフォトレジストフィルムにおいて、支持体フィルム(I)として、ポリエステル系樹脂100重量部に対して有機滑剤を0.001〜10重量部含有するポリエステル系樹脂組成物からなるフィルムを用いるフォトレジストフィルム。
請求項（抜粋）：
支持体フィルム(I)/感光性樹脂組成物層(II)/保護フィルム(III)からなるフォトレジストフィルムにおいて、支持体フィルム(I)として、ポリエステル系樹脂100重量部に対して有機滑剤を0.001〜10重量部含有するポリエステル系樹脂組成物からなるフィルムを用いることを特徴とするフォトレジストフィルム。
IPC (4件)：
G03F 7/09 501
, B32B 27/36
, G03F 7/004 507
, G03F 7/027
G03F 7/09 501
, B32B 27/36
, G03F 7/004 507
, G03F 7/027
