特許

J-GLOBAL ID：200903018191974281

レーザー加工方法、レーザー加工装置、およびインクジェットヘッドの製造方法

発明者： 及川 博 ,  佐藤 満 ,  岩浪 貫夫 ,  片岡 雅樹 ,  小泉 幸久 ,  須賀 元泰
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-052778
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249571
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 加工幅、加工深さ、勾配等を連続的に変化する形状であっても、所望する形状の加工を簡単に行なうことができるレーザー加工方法及びレーザー加工装置を提供する。【解決手段】 制御部15は、加工テーブル駆動装置12を制御し、加工テーブル11上の加工対象物10を移動させながら、レーザー発生装置1で発生したエキシマレーザー光をマスク27、レンズ28などを介して加工対象物10上に照射する。このとき、加工深さに応じて加工対象物10の移動速度を変化させる。連続的に移動速度を変化させることによって、斜面や曲面を現出させることができる。加工対象物10としてインクジェットヘッドとすることができ、高密度に配置された高効率のインクの流路を簡単に加工することができる。

請求項（抜粋）：

加工対象物にレーザー光を照射して所定の形状を現出させるレーザー加工方法において、前記レーザー光及びマスクと前記加工対象物とを相対的に連続して移動させながら前記レーザー光を前記加工対象物に照射するとともに、前記形状に従って少なくとも相対的な前記移動の速度を変化させるように制御することを特徴とするレーザー加工方法。

IPC (3件)：

B23K 26/08 ,  B23K 26/06 ,  B41J 2/16

FI (3件)：

B23K 26/08 D ,  B23K 26/06 J ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エネルギービームによる加工方法および加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-082077   出願人：株式会社荏原製作所, 畑村洋太郎
• レーザ加工方法およびレーザ加工装置並びに該方法および装置により形成されたインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-267759   出願人：キヤノン株式会社