特許
J-GLOBAL ID：200903018193687409
カーボンナノチューブを用いた電子放出素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
日比 紀彦
, 岸本 瑛之助
, 渡邊 彰
, 清末 康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-159373
公開番号（公開出願番号）：特開2004-362919
出願日： 2003年06月04日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】均一な電子放出、低い電圧での駆動および長寿命化を達成することができる、カーボンナノチューブを用いた電子放出素子を提供する。【解決手段】基板上に成長させたカーボンナノチューブ層にレーザー光1 をその焦点距離および焦点径を調整して照射して同層に除去部を形成することにより、カーボンナノチューブからなる多数の同形の突出体を所定ピッチで形成することを特徴とするカーボンナノチューブを用いた電子放出素子の製造方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に成長させたカーボンナノチューブ層にレーザー光をその焦点距離および焦点径を調整して照射して同層に除去部を形成することにより、カーボンナノチューブからなる多数の同形の突出体を所定ピッチで形成することを特徴とするカーボンナノチューブを用いた電子放出素子の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
4G146AA11
, 4G146AD29
, 4G146BA04
, 4G146BA42
, 4G146CB08
, 4G146CB16
, 4G146CB21
, 5C127AA01
, 5C127AA05
, 5C127AA11
, 5C127BA02
, 5C127BA03
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127DD08
, 5C127DD45
, 5C127DD67
, 5C127DD72
, 5C127EE06
, 5C127EE07
