特許
J-GLOBAL ID：200903018317556006

選択的に凝縮および解凍を行うクライオポンプ

発明者：
イーコバッシ・ マイケル・ ジェー・ジュニア

イーコバッシ・ マイケル・ ジェー・ジュニア について

, 
マッテ・スティーブン・アール

マッテ・スティーブン・アール について


出願人/特許権者：
ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション

ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション について


代理人 (1件)： 杉本 修司 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-508909
公開番号（公開出願番号）：特表2001-515176
出願日： 1998年07月23日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：
【要約】【課題】 クライオパネルに対するガスの凝縮および昇華を、複数のガスに対して選択的に実行することにより、有毒ガスの漏出を防止する。【解決手段】 クライオポンプのクライオパネルを選択的に解凍して、酸性または毒性の第1のガスを除去し、一方、実質的に凝縮された第2のガスをクライオパネル上に残し、蒸気相の2つのガスの相互作用を制限する。クライオパネルは、選択的解凍範囲内の温度に加熱され、その温度で第1のガスが選択的にクライオパネルから昇華する。クライオパネルの温度は、その後、クライオパネルが実質的に第1のガスが除去されるまでこの範囲内の温度に維持され、実質的に凝縮液として留まる第2のガスをクライオパネル上に残す。好ましい実施形態では、このクライオパネルは、解凍される前の標準動作中は、約50〜85Kに維持される。
請求項（抜粋）：
少なくとも2種類のガスが凝縮して付着したクライオパネルを選択的に解凍する方法であって、 クライオパネルを選択的解凍範囲内の温度に加熱して、その温度で、水と反応して酸を生成する第1凝縮ガスを選択的に、クライオパネルからクライオパネルを囲むチャンバ内に昇華させる一方で、水を実質的にクライオパネル上に残し、 前記クライオパネルの温度を、前記第1凝縮ガスが実質的にクライオパネルから放出されてチャンバから除去されるまで、前記選択的解凍範囲内の温度に維持する、各ステップを有する方法。
IPC (2件)：
F04B 37/08 ,  F04B 37/16
FI (2件)：
F04B 37/08 ,  F04B 37/16 A
Fターム (5件)：
3H076AA27 ,  3H076BB24 ,  3H076BB28 ,  3H076BB35 ,  3H076CC54
引用特許：
審査官引用 (8件)
  • 特開平4-353273
  • 特公平5-056616
  • 特公平3-064716
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