特許
J-GLOBAL ID：200903018372017092

フレーム位置決め装置及びフレーム位置決め方法

発明者：
吉井 政弘

吉井 政弘 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002891
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204461
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置において、半導体ウェーハを保持するフレームをカセットから搬出した際にフレームの位置決めを行うことによって精密アライメント前のプリアライメントを行い、更に、ダイシング後においても、カセットにフレームを収納する前にフレームの位置決めを行ってフレームを確実にカセットに収納する。【解決手段】カセットから搬出されたダイシング前の半導体を保持するフレーム、ダイシング後の半導体ウェーハを保持するフレームが仮置きされるフレーム仮置き領域に、開状態と挟持状態とに位置付けられるフレームガイドレールを配設し、フレームを載置してからフレームガイドレールを挟持状態とし、その挟持状態を維持したままフレームを押し込むことによりフレームの位置決めを行う。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置に配設され、半導体ウェーハを保持するフレームの位置決めを行うフレーム位置決め装置であって、少なくとも、該ダイシング装置のカセット載置領域に載置されたカセットからフレームを搬出すると共に該カセットにフレームを搬入するフレーム搬出入手段と、該フレーム搬出入手段によって搬出入されるフレームが一時的に仮置きされるフレーム仮置き領域とを含み、該フレーム仮置き領域には、該フレームを挟持する挟持状態と該フレームを開放する開状態とに位置付けられるフレームガイドレールが配設されるフレーム位置決め装置。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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