特許

J-GLOBAL ID：200903018388373450

ポリイミド系樹脂用エッチング液組成物及びエッチング方法

発明者： 寒川 博司
出願人/特許権者： ソニーケミカル株式会社
代理人 (1件)： 田治米 登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233317
公開番号（公開出願番号）：特開2001-055570
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ金属イオン汚染やハロゲンイオン汚染や重金属汚染の懸念が生じず、しかもエチレンジアミン等の毒性の強い成分を使用せずに、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を酸成分とするポリイミド樹脂に対しても実用的なエッチング速度と、良好なエッチング精度を示すエッチング液を提供する。【解決手段】 以下の成分(A)、(B)及び(C):(A) 第四級アンモニウムハイドロオキサイド 5〜67重量%;(B) アルコール系溶剤 3〜85重量%; 及び(C) 水 10〜70重量%からポリイミド系樹脂用エッチング液組成物を構成する。

請求項（抜粋）：

以下の成分(A)、(B)及び(C):(A) 第四級アンモニウムハイドロオキサイド 5〜67重量%;(B) アルコール系溶剤 3〜85重量%; 及び(C) 水 10〜70重量%を含有することを特徴とするポリイミド系樹脂用エッチング液組成物。

IPC (4件)：

C09K 13/06 ,  C08J 7/00 ,  H01L 21/308 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

C09K 13/06 ,  C08J 7/00 A ,  H01L 21/308 E ,  H05K 3/00 K

Fターム (14件)：

4F073AA06 ,  4F073BA31 ,  4F073BB01 ,  4F073EA01 ,  4F073EA11 ,  4F073EA21 ,  4F073EA57 ,  4F073HA09 ,  5F043AA30 ,  5F043AA40 ,  5F043BB25 ,  5F043DD07 ,  5F043FF06 ,  5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-103531
  
• ポリイミド樹脂のエツチング溶液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172719   出願人：日産化学工業株式会社
• ポリイミドのエッチング液およびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-020971   出願人：セントラル硝子株式会社
• 特開昭58-103531