特許
J-GLOBAL ID：200903018446066643
ビーム成形スリット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-212421
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025488
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】【課題】 限られた狭い設置スペースにおいても、開口部の形状が異なる数種類のスリットを迅速に切換えて、ビーム通路中に挿入可能とする。【解決手段】 大きさや形状が互いに異なるビーム通過用の開口が形成された複数の遮蔽板32を、回動軸30のまわりに配設して、該回動軸30を回動することにより、遮蔽板32を通過したビームの大きさや形状が変更できるようにする。
請求項（抜粋）：
ビームの大きさや形状を形成するためのビーム成形スリットにおいて、ビームラインから離れた位置に配置される回動軸と、該回動軸のまわりに配設される、大きさや形状が互いに異なるビーム通過用の開口が形成された、複数の遮蔽板と、前記回動軸を回動して、ビームラインに挿入される遮蔽板を切換えるための回動手段とを備え、前記回動軸を回動することにより、遮蔽板を通過したビームの大きさや形状が変更可能とされていることを特徴するビーム成形スリット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/09 A
, G21K 1/04 R
