特許
J-GLOBAL ID:200903018485453867

熱物性測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-135220
公開番号(公開出願番号):特開2005-315762
出願日: 2004年04月30日
公開日(公表日): 2005年11月10日
要約:
【課題】 試料を所定温度に維持しつつ試料を非定常加熱したときに試料の温度応答を検出して熱物性を測定するに際し、効率よく且つ高精度で温度制御可能とする。【解決手段】 試料1を試料ホルダ2に直接接触させて支持する。試料ホルダ2の裏側に設けたヒータ5により試料ホルダ2を加熱し、試料ホルダ2からの熱伝導により試料1に熱を供給し、そのときの試料温度を温度センサ6で検出し、制御装置7によってヒータ5の熱供給を制御して試料1を所定温度に維持する。このように試料を試料ホルダを介して熱伝導で温度制御するので、効率の良い加熱が行われ、温度の応答性も良く、試料を正確に所定の温度に維持することができる。このとき光源8からレーザ4を試料1の表面3に照射し、その際の試料1の裏面の温度をヒータ5の穴10、透明な試料ホルダ2を介して放射温度計6で測定し、多層モデルの温度応答性を用いて試料の熱物性を測定する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
試料ホルダに試料を直接接触させて支持し、 試料ホルダに熱を供給して試料ホルダから試料への熱伝導により試料を所定温度に維持し、 試料への非定常加熱による試料の温度変化を測定することにより試料の前記所定温度での熱物性を測定することを特徴とする熱物性測定方法。
IPC (1件):
G01N25/18
FI (1件):
G01N25/18 H
Fターム (14件):
2G040AB05 ,  2G040AB08 ,  2G040AB09 ,  2G040BA27 ,  2G040CA02 ,  2G040CA23 ,  2G040DA03 ,  2G040DA05 ,  2G040DA13 ,  2G040EA02 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC02 ,  2G040EC04
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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