複数軸ガルバノスキャナを用いたレーザ加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125422
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058178
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】加工速度を大幅に向上させることのできるレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】レーザ光の導光路に、該レーザ光をその断面積に関して複数に分割する反射ミラー11を配置して、分割された複数のレーザ光で複数のワーク17a,17bに対して加工を行うことができるようにした。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器からのレーザ光を被加工部材に照射して加工を行うレーザ加工装置において、レーザ光の導光路に、該レーザ光をその断面積に関して複数に分割する分割手段を配置して、分割された複数のレーザ光で複数の被加工部材に対して加工を行うことができるようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/06 , B23K 26/08 , G02B 26/10 104 , H05K 3/00

FI (5件)：

B23K 26/06 C , B23K 26/06 Z , B23K 26/08 N , G02B 26/10 104 Z , H05K 3/00 N

引用特許：

出願人引用 (6件)

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審査官引用 (6件)

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