複合セラミックスおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-122547
公開番号（公開出願番号）：特開2001-302338
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】適用する部材に適切な低熱膨張特性およびヤング率の組み合わせを得ることができる複合セラミックスおよびその製造方法を提供すること。低熱膨張性と高剛性とを兼備し、半導体製造装置、計測機器、精密機器などの構造部品に好適な複合セラミックスおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】ユークリプタイトと窒化ケイ素および/または炭化ケイ素とからなり、室温でのヤング率が130GPa以上、10〜40°Cにおける熱膨張係数が-1×10-6/°C〜1×10-6/°C、または、室温でのヤング率が200GPa以上、10〜40°Cにおける熱膨張係数が2×10-6/°C以下である複合セラミックス。

請求項（抜粋）：

ユークリプタイトと窒化ケイ素および/または炭化ケイ素とからなり、室温でのヤング率が130GPa以上、10〜40°Cにおける熱膨張係数が-1×10-6/°C〜1×10-6/°Cであること特徴とする複合セラミックス。

IPC (3件)：

C04B 35/19 , C04B 35/565 , C04B 35/584

FI (3件)：

C04B 35/18 A , C04B 35/56 101 B , C04B 35/58 102 F

Fターム (19件)：

4G001BA22 , 4G001BA32 , 4G001BA65 , 4G001BB22 , 4G001BB32 , 4G001BB65 , 4G001BC52 , 4G001BD05 , 4G001BD13 , 4G030AA02 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA47 , 4G030AA52 , 4G030BA20 , 4G030BA24 , 4G030GA24 , 4G030GA27 , 4G030HA25

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-290352
低熱膨張セラミックスおよびその製造方法、並びに半導体製造用部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-234635 出願人：京セラ株式会社
特開昭57-205373

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