特許
J-GLOBAL ID：200903018516605113
センサ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038788
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 被測定流体を振動部に接触させるための空所において、空所内の気体と被測定流体が置換しやすく、被測定流体を空所内に容易に導入することができるセンサ素子を提供する。【解決手段】 振動部14を有する基体12と、振動部12の一方の表面に固定され、かつ、圧電膜22と圧電膜22に接して設けられる一対の電極24a、24bとを有する圧電素子20と、振動部14の他方の面に流体を導くことができる空所16と、空所16に連通する導入孔18とを有する長手形状のセンサ素子10である。センサ素子10の表面に、導入孔18周辺からセンサ素子後端部10’まで実質的に連続して設けられた突起部13によって、少なくとも導入孔18のセンサ素子表面側開口端をその領域に含み、センサ素子後端部10’まで連続する凹部15が形成されている。
請求項（抜粋）：
振動部を有する基体と、当該振動部の一方の表面に固定され、かつ、圧電膜と当該圧電膜に接して設けられる一対の電極とを有する圧電素子と、当該振動部の他方の面に流体を導くことができる空所と、当該空所に連通する導入孔とを有する長手形状のセンサ素子であって、当該センサ素子の表面に、導入孔周辺からセンサ素子後端部まで実質的に連続して設けられた突起部によって、少なくとも導入孔のセンサ素子表面側開口端をその領域に含み、センサ素子後端部まで連続する凹部が形成されていることを特徴とするセンサ素子。
IPC (4件)：
G01N 11/16
, G01L 1/10
, G01N 9/00
, H01L 41/08
G01N 11/16 A
, G01L 1/10 A
, G01N 9/00 E
, H01L 41/08 Z
