特許

J-GLOBAL ID：200903018598781852

ポジ型感光性樹脂組成物並びに半導体装置及び表示素子

発明者： 釼持 友規 ,  平野 孝
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-087731
公開番号（公開出願番号）：特開2004-310079
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】 ドライエッチング時の加工性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜50重量部とフッ素化合物0.5〜20重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物であり、アルカリ可溶性樹脂がポリアミド樹脂であることが好ましい。ポリアミド樹脂は、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも1個有する脂肪族基又は環式化合物基を含む化合物で末端封止されていることが好ましく、フッ素化合物はフェノール性水酸基を含有する化合物のフッ素誘導体であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜50重量部とフッ素化合物0.5〜20重量部とを含んでなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F7/037 ,  C08G69/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/037 ,  C08G69/26 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/022 ,  G03F7/075 521 ,  H01L21/30 502R

Fターム (50件)：

2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J001DA01 ,  4J001DB05 ,  4J001DC02 ,  4J001DC05 ,  4J001DC08 ,  4J001DC10 ,  4J001DC14 ,  4J001DD02 ,  4J001DD05 ,  4J001DD06 ,  4J001DD07 ,  4J001DD08 ,  4J001EB25 ,  4J001EB34 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EB65 ,  4J001EC23 ,  4J001EC27 ,  4J001EC33 ,  4J001EC38 ,  4J001EC44 ,  4J001EC54 ,  4J001EC56 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001EE23D ,  4J001EE42D ,  4J001FB06 ,  4J001FC06 ,  4J001JA07 ,  4J001JB27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平1-46862号公報(第1〜8頁)
  

審査官引用 (5件)

• 薄膜トランジスタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-277941   出願人：松下電器産業株式会社
• アミドフェノール化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-307676   出願人：旭化成株式会社
• イミドフェノール化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-280051   出願人：旭化成株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-159535   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-096910   出願人：旭化成工業株式会社