特許
J-GLOBAL ID:200903017183317380
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-159535
公開番号(公開出願番号):特開平11-349810
出願日: 1998年06月08日
公開日(公表日): 1999年12月21日
要約:
【要約】【課題】 エッジリンス性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 一般式(I)で示されるポリアミド100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部とフッ素系界面活性剤0.001〜10重量部とからなるポジ型感光性樹脂組成物であり、フッ素系界面活性剤は特に式(II)で表される成分を含むものが好ましい。【化1】【化5】
請求項(抜粋):
一般式(I)で示されるポリアミド100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部とフッ素系界面活性剤0.001〜10重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
IPC (6件):
C08L 77/06
, C08G 69/26
, C08G 77/455
, C08K 5/00
, C08K 5:43
, C08K 5:23
FI (4件):
C08L 77/06
, C08G 69/26
, C08G 77/455
, C08K 5/00
引用特許:
出願人引用 (13件)
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ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-159679
出願人:住友ベークライト株式会社
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特開平3-020743
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特開昭64-006947
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ポジ型感光性樹脂の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-206157
出願人:住友ベークライト株式会社
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ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-206158
出願人:住友ベークライト株式会社
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ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-217692
出願人:住友ベークライト株式会社
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ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-350165
出願人:住友ベークライト株式会社
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ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-060800
出願人:住友ベークライト株式会社
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半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-117391
出願人:住友ベークライト株式会社
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感光性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-126116
出願人:富士写真フイルム株式会社
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特開昭62-226143
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特開平3-172849
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感光性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-149464
出願人:大日本インキ化学工業株式会社
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