特許

J-GLOBAL ID：200903018710842215

感放射線性塗布組成物

発明者： 西 峰雄 ,  中野 浩二 ,  楠本 匡 ,  河瀬 康弘
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092612
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286365
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 溶解性及び塗布性が良好で、露光時の発泡が起こりにくい感放射線性塗布組成物を提供する。【構成】 ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒を含有する感放射線性塗布組成物において、溶媒として?@下記一般式で表わされる化合物及び?Aγ-ブチロラクトン及び/又はピルビン酸アルキルエステルを含有する溶媒を用いることを特徴とする感放射線性塗布組成物。【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 はハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表し、相互に同じでも異なっていても良い。R4 は水素原子、ハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表す。)

請求項（抜粋）：

ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒を含有する感放射線性塗布組成物において、溶媒として?@下記一般式で表わされる化合物及び?Aγ-ブチロラクトン及び/又はピルビン酸アルキルエステルを含有する溶媒を用いることを特徴とする感放射線性塗布組成物。【化1】(式中、R1 ,R2 及びR3 はハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表し、相互に同じでも異なっていても良い。R4 は水素原子、ハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表す。)

IPC (3件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レジスト塗布組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-059928   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-268112   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 化学増幅型感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-046672   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-270332   出願人：日本合成ゴム株式会社