感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-268112
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230169
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】特に解像度およびパターン形状が優れるとともに、感度および現像性にも優れ、しかもコントラスト、耐熱性等も良好な化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】感放射線性樹脂組成物は、下記式で代表される共重合体(イ)および感放射線性酸発生剤(ロ)を含有するか、前記(イ)および(ロ)とアルカリ可溶性樹脂(ハ)とを含有することを特徴とする。【化1】〔ここで、mおよびnは各繰返し単位数を表す整数であり、0.1≦m/(m+n)<0.6および0.4<n/(m+n)≦0.9の関係を満たす。〕

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される共重合体(イ)および感放射線性酸発生剤(ロ)を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R は水素原子またはメチル基を示し、mおよびnは各繰返し単位数を表す整数であり、0.1≦m/(m+n)<0.6および0.4<n/(m+n)≦0.9の関係を満たす。〕

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

パターン形成材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-275149 出願人：三菱電機株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-271561 出願人：キヤノン株式会社
改良型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266844 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

全件表示

前のページに戻る