特許
J-GLOBAL ID：200903018716004530

マスキング装置

発明者：
竿下 宗士

竿下 宗士 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-048798
公開番号（公開出願番号）：特開平11-229117
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】 強度があって成膜効率にすぐれ、しかも、内部応力やコスト高の問題もないパターンマスク板を備えたマスキング装置を提供する。【解決手段】 ステンレス(SUS)板材にエッチング加工を施して所定パターンのマスク窓2を開口し、同時にマスク窓2の内周部全周の上面側をハーフエッチングして段差部3を形成し、マスク窓2の内周部全周に薄肉部4を形成する。薄肉部4の厚みhは、パターンマスク板1の厚みのほぼ1/2倍程度(h≒t/2)が望ましい。また、薄肉部4の張り出し長さLは、パターンマスク板1の板厚tよりも長い(L>t)のが望ましい。
請求項（抜粋）：
パターンマスク板にマスク窓を開口したマスキング装置において、マスク窓の内周先端部をパターンマスク板の厚みよりも薄くしたことを特徴とするマスキング装置。
IPC (3件)：
C23C 14/04 ,  B41M 1/24 ,  H05K 3/14
FI (3件)：
C23C 14/04 A ,  B41M 1/24 ,  H05K 3/14 B
引用特許：
審査官引用 (11件)
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