特許
J-GLOBAL ID：200903018717699400

基板搬送装置及びこの基板搬送装置を用いた基板処理設備

発明者：
▲ソル▼ 相鎬

▲ソル▼ 相鎬 について


出願人/特許権者：
ピーエスケー・インコーポレーテッド

ピーエスケー・インコーポレーテッド について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-073032
公開番号（公開出願番号）：特開2008-016815
出願日： 2007年03月20日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】基板処理量を最大化しながら設置面積を最小化することができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板搬送装置150は、それぞれ異なる高さで基板を支持する第1ブレード152及び第2ブレード154、第1及び第2ブレードと連結されて第1及び第2ブレードを移動させるアーム部160、及び、第1及び第2ブレードとアーム部を駆動する駆動部を含み、第1及び第2ブレードは、アーム部に同一(単一)軸線を中心にした旋回動作で旋回しながら開かれるか、または折りたたまれる。上述した構成を有する基板搬送装置は、設備の面積対比処理量を増加させることができ、基板の搬送及び処理時間を削減することができるという利点を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
工程チャンバへの基板搬送のための基板搬送装置において、 それぞれ異なる高さで基板を支持する第1及び第2ブレードと、 前記第1及び第2ブレードと連結されて前記第1及び第2ブレードを移動させるアーム部と、 前記第1及び第2ブレードと前記アーム部とを駆動する駆動部と、 を含み、 前記第1及び第2ブレードは、前記アーム部の同一軸線を中心にした旋回動作により旋回しながら開かれるか、折りたたまれることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (24件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA42 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031MA04 ,  5F031MA13 ,  5F031MA26 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM