密着焼付け装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：間宮武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032849
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231198
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】被露光体の被露光面における光照射位置によるディクリネーション角の違いを無くし、コリメーション角も小さくして、被露光面に原板のパターンを焼き付けた際に被露光面の位置によって像質に差異を生じたり解像度の低下を生じたりすることを防止できる装置を提供する。【手段】紫外線を含む光を発するランプ50と、ランプからの直接光の光線束を平行光線束として被露光面56へ案内する凹面鏡54と、ランプからの光の一部を反射させる反射面を有し、その反射光の光線束が凹面鏡で平行光線束とされて被露光面へ案内されるように形成された反射板52とから光照射部12を構成した。

請求項（抜粋）：

原板を被露光体に密着させて原板のパターンを被露光体の被露光面に焼き付ける密着焼付け装置において、紫外線を含む光を発する光源と、この光源から発せられた直接光の光線束を実質的に平行光線束として、被露光体に密着した原板へ案内するコリメート手段と、前記光源から発せられた光の一部を反射させる反射面を有し、その反射面で反射した反射光の光線束が前記コリメート手段によって実質的に平行光線束とされて前記原板へ案内されるように形成された反射手段と、を備えたことを特徴とする密着焼付け装置。

Fターム (9件)：

2H097AA01 , 2H097BB03 , 2H097CA02 , 2H097CA06 , 2H097CA12 , 2H097GA02 , 2H097GA24 , 2H097LA09 , 2H097LA11

引用特許：

審査官引用 (19件)

精密両面露光装置および露光方法ならびに透光板の固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-117476 出願人：株式会社オーク製作所
特開昭60-090339
特開昭58-147121

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