特許
J-GLOBAL ID：200903018783405336

画像処理アライメント用ウェハアライメントマーク及び画像処理アライメント方法並びに半導体装置の製造方法

発明者：
藤本 匡志

藤本 匡志 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-110091
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303763
出願日： 2002年04月12日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】アライメントマークの占有面積を増加させることなく、プロセス起因のアライメント精度劣化を改善し、重ね合せ精度を格段に向上でき、さらにスループットを向上させることのできる画像処理アライメント用ウェハアライメントマーク及び画像処理アライメント方法並びに半導体装置の製造方法の提供。【解決手段】複数の矩形パターン1aを撮像画面内に入るように配列し、各々の矩形パターン1aのフレーム幅や大きさを変化させてアライメントマーク1を形成する。そして、各々の矩形パターン1aの信号波形を計測し、正常な波形が得られる矩形パターンの数と予め定めた最小必要マーク数とを比較し、異常な計測結果を除外することにより、アライメントの位置ずれ量を算出する。これにより、いずれかの矩形パターンで不具合が生じた場合であっても確実にアライメントを行うことができる。
請求項（抜粋）：
画像処理アライメント用ウェハアライメントマークであって、各々の前記ウェハアライメントマークは、1ショットの撮像画面内に全てが入るように配列された複数の矩形パターンからなることを特徴とするウェハアライメントマーク。
FI (3件)：
H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 522 B ,  H01L 21/30 525 W
Fターム (7件)：
5F046EA03 ,  5F046EA04 ,  5F046EA12 ,  5F046EB07 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FC04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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