特許
J-GLOBAL ID：200903018790298189
半導体ウエハ搬送用オープンカセット及びカセット開閉装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石井 光正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-024070
公開番号（公開出願番号）：特開2004-235536
出願日： 2003年01月31日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】簡単な構成でウエハの飛び出しを防止できる手段を備えたカセット及び開閉装置を提供する。【解決手段】飛び出し防止手段を、カセット本体の中心よりもウエハ受け渡し側における上下に垂直軸11U,11L 回りに回動自在に設けられたアーム12U,12L と、そのアームの先端部に支持され、アームの回動によりカセット本体に収容されているウエハの飛び出しを妨げる閉鎖位置と、カセット本体に対するウエハ受け渡しを妨げない開放位置との間を移動される飛び出し防止バー13と、下側の第1アームに設けられて、ウエハ受け渡し側に係合凹部を有するフック14と、カセット本体に設けられ、開放位置に移動された飛び出し防止バーを閉鎖位置に復帰させるためアーム12U を付勢する付勢部材15とで構成した。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
飛び出し防止手段を備えた半導体ウエハ搬送用オープンカセットにおいて、前記飛び出し防止手段は、カセット本体の半導体ウエハ受け渡し側における前記カセット本体の上下に垂直軸回りに回動自在に設けられたアームと、前記アームの先端部に支持され、前記アームの回動により前記カセット本体に収容されている半導体ウエハの飛び出しを妨げる閉鎖位置と、前記カセット本体に対する半導体ウエハ受け渡しを妨げない開放位置との間を移動される飛び出し防止バーと、下側のアームに設けられて、半導体ウエハ受け渡し側に開口する係合凹部を有するフックと、前記カセット本体に設けられ、前記飛び出し防止バーを閉鎖位置に復帰させるため前記アームを付勢する付勢部材とから構成されていることを特徴とする半導体ウエハ搬送用オープンカセット。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/68 V
, H01L21/68 A
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031EA09
, 5F031FA03
, 5F031FA11
, 5F031GA02
, 5F031KA20
, 5F031LA11
, 5F031MA15
, 5F031MA17
, 5F031NA09
