被検査物の検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141652
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329612
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】ガラス板等の透明体または鏡面体に生じた欠陥候補の種類を識別できるようにする。【解決手段】光の3原色の一つである第1の色と第2の色との混色からなる第1のパタン(3a-2)と、第3の色と第1の色との混色からなりかつ第1のパタンの両側にそれぞれ隣接する第2および第3のパタン(3a-1,3a-3)とを光源3の発光面に設ける。被検査物(2)を透過/反射した第2のパタン(3a-2)を撮像し、撮像した画像を解析することにより、被検査物(2)に存在する欠陥候補を抽出する。

請求項（抜粋）：

光源により被検査物に対して光を照射し、その反射光または透過光を撮像し、この撮像により得られた画像をR(赤)、G(緑)およびB(青)の各画像に分離し、分離した各画像の輝度分布に基づいて前記被検査物の欠陥を検査する方法において、光の3原色の一つである第1の色と光の3原色の一つである第2の色との混色からなる第1のパタンと、光の3原色の一つである第3の色と前記第1の色との混色からなりかつ前記第1のパタンの両側にそれぞれ隣接する第2および第3のパタンとを前記光源の発光面に設け、前記被検査物を透過した前記第1のパタン、または前記被検査物に反射された前記第1のパタンの何れかを撮像し、この撮像した画像を解析することにより、前記被検査物に存在する欠陥候補を抽出することを特徴とする被検査物の検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/958 , G01B 11/00 , G01B 11/30

FI (4件)：

G01N 21/958 , G01B 11/00 H , G01B 11/30 A , G01B 11/30 H

Fターム (49件)：

2F065AA04 , 2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB01 , 2F065BB15 , 2F065BB22 , 2F065BB27 , 2F065CC14 , 2F065CC25 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065FF42 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG18 , 2F065HH02 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065QQ00 , 2F065QQ21 , 2F065QQ28 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2G051AA42 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB06 , 2G051AB07 , 2G051BA08 , 2G051BA10 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA06 , 2G051DA15 , 2G051EA08 , 2G051EA17 , 2G051EC01 , 2G051EC02

引用特許：

審査官引用 (3件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-154402 出願人：エヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ株式会社, オムロン株式会社
ガラス板の欠陥識別検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-143923 出願人：セントラル硝子株式会社
特開平3-006412

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