特許
J-GLOBAL ID：200903018832602959
露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323550
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149978
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】露光装置側における露光準備時間を短縮化し得るとともに、前処理装置から露光装置に搬入される基板のロツトと、当該ロツトに対する露光処理とを確実に一致させることができる露光方法を提案する。【解決手段】前処理装置15に基板Pが搬入されたとき当該基板Pのロツトに関する情報を予め予約データDAPとして露光装置11に送出して露光準備を行い、当該基板Pが前処理装置15での処理を完了したとき、再び当該基板Pのロツト情報を露光装置11に確認データDVFとして送出し、予約データDAPと確認データDVFとが一致したとき露光処理を実行することにより、予約されたロツトの基板Pに対して、当該ロツトに対応した露光処理を確実に行うことができるとともに、予約データDAPによる予約によつて露光準備を行うことができることにより、基板Pが露光装置内に搬入された後、直ちに露光を行うことができる。
請求項（抜粋）：
露光前の処理を行う前処理装置にロツト単位の基板を順次搬送し、前記前処理装置で前記処理を施した前記基板を露光装置にて露光する露光方法において、前記ロツト単位の最初の基板が前記前処理装置に搬送されたときに、前記ロツト単位の露光に関する情報を前記露光装置に送出する第1ステツプと、前記ロツト単位の最初の基板が前記前処理装置から前記露光装置に搬送されたときに、前記ロツト単位の露光に関する情報を再度前記露光装置に送出する第2ステツプと、前記第1ステツプで送出された前記露光に関する情報と、前記第2ステツプで送出された前記露光に関する情報とが一致したときに前記露光を行う第3ステツプとを含むことを特徴とする露光方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 G
, G03F 7/20 521
