枚葉式熱処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216095
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】被処理体を十分に温度むらのない面内均一に熱処理することを可能とする。【解決手段】側壁2に被処理体wの搬入出口3、排気口4等の開口部を有する処理室1内に被処理体wを収容して所定の処理ガス雰囲気下で熱処理する枚葉式熱処理装置において、前記処理室1内に熱処理時に前記被処理体wの周囲を前記開口部3,4から遮蔽するための遮蔽手段13を設けている。

請求項（抜粋）：

側壁に被処理体の搬出入口、排気口等の開口部を有する処理室内に被処理体を収容して所定の処理ガス雰囲気下で熱処理する枚葉式熱処理装置において、前記処理室内に熱処理時に前記被処理体の周囲を前記開口部から遮蔽するための遮蔽手段を設けたことを特徴とする枚葉式熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , H01L 21/324

FI (2件)：

H01L 21/205 , H01L 21/324 G

Fターム (3件)：

5F045AA06 , 5F045EC05 , 5F045EF11

引用特許：

審査官引用 (7件)

枚葉式の熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-267774 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開昭63-119535
処理装置及びアルミ系部材のコーティング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-085573 出願人：東京エレクトロン株式会社

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