特許
J-GLOBAL ID：200903018885863290
液晶パネルの製造装置及びその製造方法
出願人/特許権者：
シャープ株式会社
シャープ株式会社 について
代理人 (1件)： 藤本 英介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-154613
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345696
出願日： 1998年06月03日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 作業者の健康への悪影響なく、液晶基板を精度良く除電する除電装置を取り付けた液晶パネルの製造装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 ステージ7の上面に近接して設置した制御用グリッド4を有するスコロトロン型除電装置1の下を、ステージ7に吸着させた液晶基板6を通過させることにより、液晶基板6の表面電位を±20V以下に除電可能となる。
請求項（抜粋）：
静電気の発生を抑えて液晶パネルを製造する液晶パネルの製造装置において、シールドケース内に収容されている放電体と該シールドケースの放電開口部の全面に取り付けた制御グリッドとを有するスコロトロン型除電装置を、除電対象物に接近して取り付けたことを特徴とする液晶パネルの製造装置。
IPC (4件)：
FI (4件)：
引用特許：
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