特許
J-GLOBAL ID：200903018895019358
流量検定システム及び流量検定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人コスモス特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-222582
公開番号（公開出願番号）：特開2009-054094
出願日： 2007年08月29日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：
【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。【解決手段】第1遮断弁7Aと、第1遮断弁7Aの下流側に配置された流量制御機器8Aと、流量制御機器8Aの下流側の圧力を測定する圧力センサ12とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ12が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム16において、流量制御機器8Aの正常時に圧力センサ12が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段27と、第1遮断弁7Aを介して流量制御機器8Aに供給され、流量制御機器8Aに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ12に供給したときに、圧力センサ12が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段14と、を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1遮断弁と、前記第1遮断弁の下流側に配置された流量制御機器と、前記流量制御機器の下流側の圧力を測定する圧力センサとを有するガス配管系の流量を、前記圧力センサが測定した圧力に基づいて検定する流量検定システムにおいて、
前記流量制御機器の正常時に前記圧力センサが測定する前記圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段と、
前記第1遮断弁を介して前記流量制御機器に供給され、前記流量制御機器に流量を制御されたプロセスガスを、前記圧力センサに供給したときに、前記圧力センサが測定する前記圧力を積算して圧力積算値を算出し、前記圧力積算値を前記標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段と、
を有することを特徴とする流量検定システム。
IPC (4件)：
G05D 16/20
, G01F 1/34
, G01F 1/00
, F17D 3/01
G05D16/20 J
, G01F1/34 A
, G01F1/00 T
, G01F1/00 X
, F17D3/01
2F030CC11
, 2F030CD20
, 2F030CE04
, 2F030CF05
, 2F030CF08
, 3J071AA02
, 3J071EE25
, 3J071EE37
, 3J071FF11
, 5H316AA15
, 5H316BB01
, 5H316CC03
, 5H316DD03
, 5H316DD15
, 5H316EE02
, 5H316ES02
, 5H316FF01
