特許
J-GLOBAL ID：200903018908839538

異常を発見するために試料を光学的に検査する装置および方法

発明者：
ウルフ・ラルフ・シー.

ウルフ・ラルフ・シー. について

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ベニテツ・エバ・エル.

ベニテツ・エバ・エル. について

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チェン・ドンシェン(ドン)

チェン・ドンシェン(ドン) について

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グリーン・ジョン・ディ.

グリーン・ジョン・ディ. について

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サリバン・ジェイミー・エム.

サリバン・ジェイミー・エム. について

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ベラ・エリック・エヌ.

ベラ・エリック・エヌ. について

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ヴォー・ヒエム・ディ.

ヴォー・ヒエム・ディ. について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション

ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-572074
公開番号（公開出願番号）：特表2005-526239
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 半導体ウェーハのような試料から発せられるビームからの(例えば散乱された光、反射された光、または二次電子)比較的大きなダイナミックレンジの強度値を検出するメカニズムを提供する。【解決手段】 言い換えれば、本検査システムは、広いダイナミックレンジを有する検出された出力信号を提供する。検出された出力信号は、それから分析されて欠陥が試料上に存在するか決定される。例えば、ターゲットダイからの強度値は、レファレンスダイの対応する部分からの強度値と比較され、ここで大きな強度差は欠陥として定義されえる。具体的な実施形態において、試料上の欠陥を検出する検査システムが開示される。前記システムは、入射ビームを試料表面に向けて導くビーム発生器、および前記入射ビームに応答して前記試料表面から来るビームを検出するよう配置された検出器を含む。前記検出器は、前記検出されたビームを検出し、前記検出されたビームに基づいて検出された信号を発生するセンサおよび前記センサに結合された非線形要素を有する。前記非線形要素は、前記検出された信号に基づいて非線形検出信号を発生するよう構成される。前記検出器はさらに、前記非線形要素に結合された第1アナログディジタル変換器(ADC)を含む。前記第1ADCは、前記非線形検出信号をディジタル化して第1ディジタル化検出信号にするよう構成される。
請求項（抜粋）：
試料上の欠陥を検出する検査システムであって、前記システムは、 入射ビームを試料表面に向けて導くビーム発生器、 前記入射ビームに応答して前記試料表面から来るビームを検出するよう配置された検出器であって、前記検出器は、 前記検出されたビームを検出し、前記検出されたビームに基づいて検出された信号を発生するセンサ、 前記センサに結合された非線形要素であって、前記検出された信号に基づいて非線形検出信号を発生するよう構成される非線形要素、および 前記非線形要素に結合された第1アナログディジタル変換器(ADC)であって、前記第1ADCは、前記非線形検出信号をディジタル化して第1ディジタル化検出信号にするよう構成される第1ADC を備える検出器、および 試料表面上に欠陥が存在するかを前記第1ディジタル化検出信号に基づいて決定するデータプロセッサ を備える検査システム。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G01N21/88
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G01N21/88 J
Fターム (49件)：
2F065AA03 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065GG05 ,  2F065HH04 ,  2F065HH10 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL13 ,  2F065LL15 ,  2F065LL21 ,  2F065LL35 ,  2F065LL57 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR09 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA04 ,  2G051BA10 ,  2G051BC06 ,  2G051CA02 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA24 ,  2G051EA25 ,  2G051EA26 ,  2G051EA27
引用特許：
審査官引用 (4件)
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