特許
J-GLOBAL ID:200903018945132983
ナノスケールワイヤ及び関連デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 沖本 一暁
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-511316
公開番号(公開出願番号):特表2004-535066
出願日: 2002年05月20日
公開日(公表日): 2004年11月18日
要約:
要約書なし。
請求項(抜粋):
500ナノメートル未満の最小幅をもつ少なくとも一つの部分を含む、自立型バルク-ドープ半導体を含む物品。
IPC (14件):
H01L29/06
, B82B1/00
, H01L21/205
, H01L21/331
, H01L27/10
, H01L29/161
, H01L29/201
, H01L29/221
, H01L29/66
, H01L29/73
, H01L29/80
, H01L29/88
, H01L33/00
, H01L51/00
FI (13件):
H01L29/06 601N
, B82B1/00
, H01L21/205
, H01L27/10 451
, H01L29/161
, H01L29/201
, H01L29/221
, H01L29/66 S
, H01L29/88 Z
, H01L33/00 A
, H01L29/72 Z
, H01L29/80 A
, H01L29/28
Fターム (29件):
5F003BM01
, 5F003BM02
, 5F003BM04
, 5F003BN00
, 5F003BN07
, 5F041AA14
, 5F041CA34
, 5F041CA40
, 5F045AA12
, 5F045AB02
, 5F045AB05
, 5F045AB10
, 5F045AB12
, 5F045AB14
, 5F045AC01
, 5F045AC19
, 5F045AF03
, 5F045AF04
, 5F045CB10
, 5F083FZ10
, 5F083GA09
, 5F083HA06
, 5F083HA07
, 5F083JA60
, 5F083PR25
, 5F102FB10
, 5F102GD04
, 5F102HC01
, 5F102HC04
引用特許:
引用文献:
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