特許
J-GLOBAL ID:200903018945132983

ナノスケールワイヤ及び関連デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  沖本 一暁
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-511316
公開番号(公開出願番号):特表2004-535066
出願日: 2002年05月20日
公開日(公表日): 2004年11月18日
要約:
要約書なし。
請求項(抜粋):
500ナノメートル未満の最小幅をもつ少なくとも一つの部分を含む、自立型バルク-ドープ半導体を含む物品。
IPC (14件):
H01L29/06 ,  B82B1/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/331 ,  H01L27/10 ,  H01L29/161 ,  H01L29/201 ,  H01L29/221 ,  H01L29/66 ,  H01L29/73 ,  H01L29/80 ,  H01L29/88 ,  H01L33/00 ,  H01L51/00
FI (13件):
H01L29/06 601N ,  B82B1/00 ,  H01L21/205 ,  H01L27/10 451 ,  H01L29/161 ,  H01L29/201 ,  H01L29/221 ,  H01L29/66 S ,  H01L29/88 Z ,  H01L33/00 A ,  H01L29/72 Z ,  H01L29/80 A ,  H01L29/28
Fターム (29件):
5F003BM01 ,  5F003BM02 ,  5F003BM04 ,  5F003BN00 ,  5F003BN07 ,  5F041AA14 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F045AA12 ,  5F045AB02 ,  5F045AB05 ,  5F045AB10 ,  5F045AB12 ,  5F045AB14 ,  5F045AC01 ,  5F045AC19 ,  5F045AF03 ,  5F045AF04 ,  5F045CB10 ,  5F083FZ10 ,  5F083GA09 ,  5F083HA06 ,  5F083HA07 ,  5F083JA60 ,  5F083PR25 ,  5F102FB10 ,  5F102GD04 ,  5F102HC01 ,  5F102HC04
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
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