特許
J-GLOBAL ID:200903018953624089
光学顕微鏡
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
家入 健
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-073972
公開番号(公開出願番号):特開2006-258990
出願日: 2005年03月15日
公開日(公表日): 2006年09月28日
要約:
【課題】 測定時間を短縮することができる光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】 本発明にかかる光学顕微鏡は、レーザ光源11と、レーザ光をライン状の光ビームに変換するシリンドリカルレンズ15と、ライン状の光ビームを走査するガルバノミラー23と、ガルバノミラー23により走査された光ビームをライン状に集光する対物レンズ27と、レーザ波長と異なる波長となって試料28から対物レンズ27側に出射する出射光62をレーザ光から分岐する第1のビームスプリッタ22と、第1のビームスプリッタ22により分岐された出射光62が入射する入射側に配置された入射スリット32を有し、入射スリット32を通過した出射光62を波長に応じて空間的に分散させる分光器33と、分光器33で分散させた出射光62を検出する検出器34とを備えるものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザ光源と、
前記レーザ光源からの光ビームをライン状の光ビームに変換する光変換手段と、
前記ライン状に変換された光ビームを走査する走査手段と、
前記走査手段により走査された光ビームをライン状に集光して試料に入射させる対物レンズと、
前記試料に入射された光ビームのうち、異なる波長となって前記試料から前記対物レンズ側に出射する出射光を前記レーザ光源から前記試料に入射するライン状の光ビームと分岐する第1のビームスプリッタと、
前記第1のビームスプリッタにより分岐された出射光が入射する入射側に前記ライン状の光ビームに対応する方向に沿って配置された入射スリットを有し、前記入射スリットを通過した前記出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器と、
前記分光器で分散させた出射光を検出する2次元アレイ光検出器とを備える光学顕微鏡。
IPC (5件):
G02B 21/06
, G01N 21/65
, G02B 21/18
, G02B 21/36
, G02F 1/35
FI (5件):
G02B21/06
, G01N21/65
, G02B21/18
, G02B21/36
, G02F1/35 502
Fターム (36件):
2G043AA03
, 2G043BA16
, 2G043EA03
, 2G043EA13
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043FA06
, 2G043GA02
, 2G043GA04
, 2G043GB01
, 2G043GB05
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA07
, 2G043HA09
, 2G043HA15
, 2G043JA02
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2H052AA07
, 2H052AB24
, 2H052AC14
, 2H052AC15
, 2H052AC16
, 2H052AC18
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AC34
, 2H052AD34
, 2H052AF14
, 2K002AA07
, 2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002HA23
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (1件)
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光学装置及び顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-253097
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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