特許
J-GLOBAL ID：200903018954710248
振動ジャイロの駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-318158
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178665
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】小形、軽量かつ量産容易で、しかも十分精度の高い振動ジャイロの駆動方法を提供することにある。【構成】シリコン基板を異方性エッチングにより加工し、更にその他のLSI技術も適用して形成し、振動体を駆動するための電極対と振動体の振動状態監視用電極対とを同一電極対で兼用し、コリオリ力検出時には振動体に逆方向に静電引力が加わり、十分大きい電圧を印加できるようにした。
請求項（抜粋）：
一定方向に振動している振動体の振動方向を含む平面を、この平面上に存在し振動方向に直交する軸の周りに回転させるとき、振動体に作用するコリオリの力を検出して前記回転の角速度を計測するようにした振動ジャイロの駆動方法において、前記振動体と対向して前記振動体の各々反対側に配置された電極対を有し、前記電極対に交互に特定の周波数で駆動電圧を印加し、前記振動体に対して交互に逆方向の静電引力を作用させて前記振動体を駆動励振し、更に、この電極対を振動体の励振状態監視にも兼用して前記振動体の励振状態が常に一定となるように制御することを特徴とする振動ジャイロの駆動方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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