ベンドミラーの調整装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三好秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-226244
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052077
出願日： 1998年08月10日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】ベンドミラーの反射面の曲率を自在に変化せしめて、1つの集光レンズでスポット径に適正に制御し、安定したレーザ加工を実現する。【解決手段】レーザ加工装置1において、レーザ発振器からレーザ加工ヘッド5内の集光レンズ7の間のレーザビームLBの光路中に、曲率可変ミラー3を設ける。曲率可変ミラー3の反射面Mの背面に備えた加圧室25に気体圧を加えることにより、反射面Mの曲率を自在に変更調整可能とする。加圧室21へしかも反射面Mの背面へ均等な圧力で噴射する多数のガス噴出口29を備える。制御装置17から圧力調整装置57に指令して前記気体圧を調整することにより、レーザ加工条件に応じて反射面Mの曲率の変化量を調整する。反射面Mは凹面から平面、凸面へと自在に容易に変更される。

請求項（抜粋）：

レーザビームを曲率可変ミラーで反射してレーザ加工ヘッド内の集光レンズで集光せしめる際、前記曲率可変ミラーの反射面の背面から気体圧を加え且つこの気体圧力をレーザ加工条件に応じて調整制御して前記反射面の曲率の変化量を調整することにより、前記集光レンズに入射するレーザビーム径を調整せしめ、レーザ加工条件に応じた集光直径に制御することを特徴とするベンドミラーの調整方法。

IPC (2件)：

B23K 26/06 , G02B 7/198

FI (4件)：

B23K 26/06 A , B23K 26/06 E , B23K 26/06 Z , G02B 7/18 B

Fターム (7件)：

2H043BC01 , 2H043BC08 , 4E068CA07 , 4E068CB02 , 4E068CB05 , 4E068CD12 , 4E068CD15

引用特許：

審査官引用 (7件)

焦点位置調整装置を備えたレーザ切断機
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-102563 出願人：トルンプフゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニー
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-125131 出願人：三菱電機株式会社
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-102690 出願人：三菱電機株式会社

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