特許
J-GLOBAL ID：200903019029684225
半導体評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-258731
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091393
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 十分に表面再結合を抑制した状態で得られるバルクライフタイムを確実に測定する。【解決手段】 半導体試料Wの上下に透明電極5を設置し,これと試料Wとの間に直流電源7を接続する。試料Wに対する印加電圧の極性及び大きさはコンピュータ8の制御により可変であり,印加電圧の極性及び大きさを順次変化させると共に,光導電減衰法によりライフタイムを測定し,印加電圧と測定ライフタイムとの関係を得る。ここで,ライフタイムが増加するにつれて表面再結合が抑制されていると言えるから,上記関係におけるライフタイムの極大値が,この試料の内部ライフタイムであると判断できる。また,表面のエネルギーバンド状態と,その状態から蓄積若しくは反転状態に近づけるための電圧の極性とは所定の関係から試料の表面エネルギーバンド状態が評価できる。
請求項（抜粋）：
半導体試料にパルス励起光を照射する励起光照射手段と,上記励起光照射手段によるパルス励起光の照射領域に検出用電磁波を放射する検出用電磁波放射手段と,上記検出用電磁波の上記半導体試料における反射波若しくは透過波を検出する検出手段と,上記検出手段によって検出される上記反射波若しくは透過波の時間変化に基づいて上記半導体試料の少数キャリアのライフタイムを測定するライフタイム測定手段とを具備してなる半導体評価装置において,上記半導体試料の表裏面に電圧を印加する電圧印加手段と,上記電圧印加手段によって印加される上記表裏面それぞれの電圧の極性及び大きさを変化させる電圧可変手段と,上記電圧可変手段による上記印加電圧の変化と,それに対する上記ライフタイム測定手段による測定ライフタイムの変化とに基づいて,上記半導体試料の内部におけるライフタイムを評価する内部ライフタイム評価手段とを具備してなることを特徴とする半導体評価装置。
Fターム (11件)：
4M106AA01
, 4M106BA14
, 4M106BA20
, 4M106CB10
, 4M106CB11
, 4M106DH01
, 4M106DH11
, 4M106DH18
, 4M106DH31
, 4M106DH37
, 4M106DH41
