特許

J-GLOBAL ID：200903019065707789

可変形状ミラーおよびその駆動方法

発明者： 松尾 大介
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-137484
公開番号（公開出願番号）：特開2004-341205
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】駆動効率の向上された可変形状ミラーを提供する。【解決手段】可変形状シリンダミラー100はミラー基板110と駆動電極基板120とを有している。ミラー基板110は、矩形の貫通穴を持つ矩形の枠部材111と、枠部材111に支持された可撓性薄膜112と、可撓性薄膜112に設けられた反射性薄膜(すなわちミラー)113とを有している。可撓性薄膜112は好ましくは有機薄膜である。反射性薄膜(すなわちミラー)113は金属薄膜から成り、その表面が光学的反射面として機能すると共に、それ自体が電極として機能する。駆動電極基板120は、基板121と、基板121の上面に形成された、駆動電極122と、駆動電極122の両側に位置する一対のヒーター126とを有している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

枠部材と、前記枠部材に支持された可撓性薄膜と、前記可撓性薄膜に設けられたミラーとを有するミラー本体と、 前記可撓性薄膜を変形させる駆動手段と、 前記可撓性薄膜を加熱する加熱手段とを備えている、可変形状ミラー。

IPC (2件)：

G02B5/10 ,  G02B5/08

FI (3件)：

G02B5/10 B ,  G02B5/08 A ,  G02B5/08 C

Fターム (8件)：

2H042DA02 ,  2H042DA05 ,  2H042DA11 ,  2H042DA20 ,  2H042DC08 ,  2H042DC11 ,  2H042DD11 ,  2H042DD13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 可変形状鏡及びその作成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-349925   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 可変形状ミラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-285571   出願人：オリンパス光学工業株式会社