感光性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 清水義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-227126
公開番号（公開出願番号）：特開2009-167381
出願日： 2008年09月04日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：

【課題】アルカリ現像液によるパターン形成性に優れ、パターン形成後も十分な熱圧着性を有し、接着後の耐熱性に優れ、フィルム状に形成した場合には低温貼付け性にも優れた感光性接着剤組成物を提供すること。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)ジヒドロピリジン誘導体及び(C)エポキシ樹脂を含有する感光性接着剤組成物であって、フィルム状接着剤1に形成された後、180°Cに加熱されながら0.2MPaで60秒間加圧されたときのフロー量が200μm以上である感光性接着剤組成物。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)ジヒドロピリジン誘導体及び(C)エポキシ樹脂を含有する感光性接着剤組成物であって、フィルム状に形成された後、180°Cに加熱されながら0.2MPaで60秒間加圧されたときのフロー量が200μm以上である、感光性接着剤組成物。

IPC (6件)：

C09J 163/00 , C09J 201/00 , C09J 11/06 , C09J 179/08 , C09J 7/00 , H01L 21/52

FI (6件)：

C09J163/00 , C09J201/00 , C09J11/06 , C09J179/08 , C09J7/00 , H01L21/52 E

Fターム (71件)：

4J004AA10 , 4J004AA11 , 4J004AA13 , 4J004AA15 , 4J004AA16 , 4J004AA17 , 4J004AB04 , 4J004BA02 , 4J004CA03 , 4J004CA04 , 4J004CA06 , 4J004DB02 , 4J004EA05 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040DF021 , 4J040DF022 , 4J040EC001 , 4J040EC002 , 4J040EC021 , 4J040EC022 , 4J040EC061 , 4J040EC062 , 4J040EC071 , 4J040EC072 , 4J040EC121 , 4J040EC122 , 4J040EC371 , 4J040EC372 , 4J040ED001 , 4J040ED002 , 4J040EE061 , 4J040EE062 , 4J040EG001 , 4J040EG002 , 4J040EH031 , 4J040EH032 , 4J040EJ031 , 4J040EJ032 , 4J040GA05 , 4J040GA07 , 4J040HB22 , 4J040HB29 , 4J040HB36 , 4J040HC02 , 4J040HC08 , 4J040HC12 , 4J040HC15 , 4J040HC21 , 4J040JA09 , 4J040JB02 , 4J040KA15 , 4J040KA16 , 4J040KA17 , 4J040KA42 , 4J040LA02 , 4J040LA06 , 4J040LA08 , 4J040LA10 , 4J040MA04 , 4J040MA05 , 4J040MA07 , 4J040MB03 , 4J040MB05 , 4J040NA20 , 5F047BA21 , 5F047BA24 , 5F047BA34 , 5F047BA35 , 5F047BB03 , 5F047BB19

引用特許：

出願人引用 (5件)

感光性ポリイミド樹脂前駆体及び接着剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-097482 出願人：日東電工株式会社
フィルム状電子部品用接着剤及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-057530 出願人：信越化学工業株式会社
感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターン製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-180190 出願人：日立化成工業株式会社

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審査官引用 (2件)

感光性樹脂組成物及び接着剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-339201 出願人：日東電工株式会社
ポジ型フオトレジスト組成物、感光性絶縁膜およびパタ-ン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-217332 出願人：日東電工株式会社

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