特許
J-GLOBAL ID：200903019082946983
流路構造体および流体混合装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-310729
公開番号（公開出願番号）：特開2006-122735
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】流路構造体において、横幅が小さく縦幅が大きい流路を、等方性エッチングを利用して容易に形成する。【解決手段】微細流路構造体1は、積層方向に対して垂直な第1基板11、第1基板11上に積層された中間基板12および第2基板13を備える。微細流路14の長手方向の一部であって第1基板11に平行な平行部140は、第1基板11および第2基板13上にそれぞれ等方性エッチングにより形成された第1凹部111および第2凹部131、並びに、中間基板12に等方性エッチングにより形成された貫通孔121により形成され、縦幅が横幅の2倍以上とされる。微細流路構造体1では、貫通孔121が形成された中間基板12を、第1基板11および第2基板13で挟んで積層することにより、横幅が小さく縦幅が大きい微細流路14を等方性エッチングを利用して容易に形成することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体が流れる流路が内部に形成された流路構造体であって、
所定の積層方向に対して垂直な板状またはシート状の第1部材と、
それぞれが板状またはシート状であり、前記第1部材上において前記積層方向に積層された少なくとも1つの中間部材と、
前記少なくとも1つの中間部材上に積層された板状またはシート状の第2部材と、
を備え、
前記第1部材、前記少なくとも1つの中間部材および前記第2部材により、前記流路の一部であって前記第1部材に平行な平行部が形成され、
前記平行部の内壁面のうち前記積層方向に関して両端の部位が前記第1部材および前記第2部材上に存在し、
前記少なくとも1つの中間部材が、等方性エッチングにより形成された貫通孔を有し、前記平行部の前記内壁面のうち前記両端の部位の間の部位が前記貫通孔により形成され、
前記平行部の前記積層方向の第1の幅が、前記積層方向に垂直な方向の第2の幅の2倍以上であることを特徴とする流路構造体。
IPC (5件)：
B01J 19/00
, B01F 11/02
, B81B 1/00
, G01N 35/08
, G01N 37/00
B01J19/00 321
, B01F11/02
, B81B1/00
, G01N35/08 A
, G01N37/00 101
2G058BB02
, 2G058BB10
, 2G058BB17
, 2G058DA07
, 2G058DA09
, 2G058FA07
, 4G036AB21
, 4G075AA13
, 4G075AA63
, 4G075BA10
, 4G075BB05
, 4G075CA23
, 4G075EE03
, 4G075EE12
