角速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-163900
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325032
出願日： 1996年06月03日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【目的】大気中で動作可能な新しい構造の多軸タイプの角速度センサを提供すること。【構成】中心軸回りに回転振動する可動台板を有する架台と、前記可動台板の上に載置され、基板上に形成された少なくとも4枚の振動板を有する検出用デバイスとから構成され、前記振動板が、前記中心軸に垂直な面上で互いに直交する2本の軸上にそれぞれ2枚ずつ配置されていることを特徴とする角速度センサ。

請求項（抜粋）：

中心軸回りに回転振動する可動台板を有する架台と、前記可動台板の上に載置され、基板上に形成された少なくとも4枚の振動板を有する検出用デバイスとからなる角速度センサであって、前記振動板が、前記中心軸に垂直な面上で互いに直交する2本の軸上にそれぞれ2枚ずつ配置されていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-129513
特開昭58-221109
回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301709 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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