特許
J-GLOBAL ID：200903019113083784

マイクロバルブ装置及びその製作方法

発明者：
細川 和生

細川 和生 について

, 
前田 龍太郎

前田 龍太郎 について


出願人/特許権者：
経済産業省産業技術総合研究所長

経済産業省産業技術総合研究所長 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-127429
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304440
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】マイクロ流体装置の製作を簡単化すること【解決手段】一個または複数の一方弁マイクロバルブユニット3によって一方弁マイクロバルブ装置または三方弁マイクロバルブ装置Aを構成した。図は三方弁マイクロバルブ装置の例であり、作動流体流路が入口ポートln1、ln2及び出口ポートOutからきてチップの中央で合する。それぞれの流路は一方弁マイクロバルブユニット3を有している。一方弁マイクロバルブユニット3は通常はメンブレンと弁座が接して閉じている。外部の駆動空気負圧が制御ポートC1、C2、C3を介して供給され、メンブレンを一方弁マイクロバルブユニット3を開く方向に変位させる。
請求項（抜粋）：
一個または複数の一方弁マイクロバルブユニットによって構成したことを特徴とするマイクロバルブ装置。
IPC (4件)：
F16K 11/22 ,  B81B 3/00 ,  F16K 7/17 ,  F16K 31/126
FI (4件)：
F16K 11/22 Z ,  B81B 3/00 ,  F16K 7/17 Z ,  F16K 31/126 Z
Fターム (27件)：
3H056AA01 ,  3H056AA07 ,  3H056AA08 ,  3H056BB32 ,  3H056CA08 ,  3H056CB03 ,  3H056CD04 ,  3H056DD08 ,  3H056EE01 ,  3H056FF10 ,  3H056GG03 ,  3H056GG14 ,  3H067AA01 ,  3H067AA28 ,  3H067AA32 ,  3H067BB08 ,  3H067BB14 ,  3H067CC32 ,  3H067DD05 ,  3H067DD33 ,  3H067EA28 ,  3H067EB28 ,  3H067EC14 ,  3H067EC17 ,  3H067FF12 ,  3H067GG02 ,  3H067GG21
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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