感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176154
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020499
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】接着性に優れた、極めて微細なポリイミドパターンを得ることのできる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感光基を含む特定構造のポリアミド酸エステル、アミノ基を含有するシランカップリング剤とジカルボン酸無水物とを反応させてなる有機ケイ素化合物、光重合開始剤及び/又は光増感剤からなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中 R<SB>1</SB>:4価の芳香族残基R<SB>2</SB>:分子量(2種以上の混合物では平均分子量)が160以下の2価の有機基R<SB>5</SB>:2〜6の有機基R<SB>6</SB>:-H又は-CH<SB>3</SB>それぞれのR<SB>1</SB>、R<SB>2</SB>、R<SB>3</SB>、R<SB>4</SB>、R<SB>5</SB>、R<SB>6</SB>はそれぞれが独立であり、同じでも異なっていてもよいp:1〜5の整数x、y、z:各構造単位の百分率で、0<x、y<100、0<z<80かつ、x+y+z=100 )【化2】

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 , G03F 7/038 501 , C08G 73/10 NTF , G03F 7/028 , G03F 7/075 501 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/038 504 , G03F 7/038 501 , C08G 73/10 NTF , G03F 7/028 , G03F 7/075 501 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (9件)

低応力膜を与える組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054771 出願人：旭化成工業株式会社
i線用感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-145143 出願人：旭化成工業株式会社
感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158401 出願人：住友ベークライト株式会社

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