特許

J-GLOBAL ID：200903028735385744

感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

発明者： 指田 暢幸 ,  竹田 直滋
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158401
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022124
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【構成】 ポリアミド酸のカルボキシル基に単又は多官能の感光性基、更に低級アルコールを共有結合で導入したポリアミド酸エステルと、1気圧での沸点が220〜320°Cの溶媒及び1気圧での沸点が120〜220°Cの溶媒からなる感光性樹脂組成物。【効果】 高沸点の溶媒と低沸点の溶媒を併用することにより、高感度でかつ基板上にコーティング後プリベーク時の加熱条件に左右されずに、ほぼ一定の残存溶媒量の皮膜を安定して得ることができる。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステルと【化1】(B)1気圧での沸点が220〜320°Cの溶媒 及び(C)1気圧での沸点が120〜220°Cの溶媒を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-341773   出願人：住友ベークライト株式会社
• 特開平4-252227
  
• 放射線架橋可能な混合物および高温で安定なレリーフ構造の形成に使用する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-126260   出願人：ベー・アー・エス・エフラッケウントファルベンアクチェンゲゼルシャフト
• 感光性ポリアミド酸エステル樹脂組成物のパターン加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-252400   出願人：住友ベークライト株式会社