特許

J-GLOBAL ID：200903019179157495

半導体露光装置

発明者： 山田 幸平
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-194550
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045825
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 周辺露光が行なえる高速で安価な半導体露光装置を提供する。【構成】 ウエハをプリアライメント手段5,6を介して露光手段1へ搬送して露光する半導体露光装置であって、ウエハの周辺露光を行なう周辺露光手段を備えたものにおいて、周辺露光手段10とプリアライメント手段とは分離しており並列的に処理を行なうものである。また、露光手段は防振支持されており、周辺露光手段はこの防振支持された露光手段とは分離して支持されている。周辺露光手段は、露光手段による露光処理が済んだウエハを露光手段から回収してからウエハキャリアまたは外部装置13へ受け渡す位置までの径路中またはその受渡し位置において周辺露光を行なうものである。

請求項（抜粋）：

ウエハをプリアライメント手段を介して露光手段へ搬送して露光する半導体露光装置であって、ウエハの周辺露光を行なう周辺露光手段を備えたものにおいて、前記周辺露光手段とプリアライメント手段とは分離しており並列的に処理を行なうものであることを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 577 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 520 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 縮小投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-176148   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-107947
  
• 特開平3-011612
  
• 周辺露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-005864   出願人：株式会社ニコン